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产品介绍
HS-TRM-100型无接触式电阻率型号测试仪是基于涡流（Eddy Current）测试技术，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
无接触式电阻率型号测试仪-产品特点
■ 测试范围广，低阻可测至0.001ohm.cm，甚至0.0007ohm.cm,高阻可测至100ohm.cm
■ 产品体积小，便于移动和携带
■ 采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
■ 无接触、无损伤快速测试
■ 测试前无需表面处理
■ 特别对于多晶，能够有效避免晶界对测试的影响
■ 测试范围：0.001-100 ohm.cm (分段测试）
■ 可选加无接触PN型号测试功能
■ 可进行温度和厚度的修正
无接触式电阻率型号测试仪-技术指标
■ 硅棒硅块可测量电阻率范围：0.001-100Ohm.cm
■ **小测试厚度：200μm
■ 测量时间：2秒/次
■ **小测试面积：3030 mm2
■ 推荐使用温度：20℃
■ 湿度：≤80%
■ 气压：86-106kPa
■ 使用电压：230±10V
■ 频率，50±3Hz
■ 功率消耗：≤5W
■ 尺寸（LxWxH）：280200x60mm